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昆山彰盛奈米-真空度测量装置

2018年05月02日 点击:
摘要:本实用新型公开了一种真空度测量装置,用于测量聚对二甲苯真空沉积系统的真空沉积腔室的真空度。该真空度测量装置包括加热圈、导热件、真空规管、以及热电偶。导热件环绕真空规管设置,加热圈设置在导热件外部,热电偶与真空规管热连通,且真空规管与真空沉积腔室流体连通。采用本实用新型能够解决现有技术中存在的在测量真空腔室的真空度时反应中的分子沉积到电阻丝表面的问题。
申请人: 昆山彰盛奈米科技有限公司
地址: 215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇杨家路9号
发明(设计)人: 徐志淮
主分类号: G01L21/14(2006.01)I
分类号: G01L21/14(2006.01)I
  • 法律状态

2015-03-11 授权

注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

  • 其他信息

主权项 一种真空度测量装置,用于测量聚对二甲苯真空沉积系统的真空沉积腔室的真空度,其特征在于:所述真空度测量装置包括加热圈、导热件、真空规管、以及热电偶,所述导热件环绕所述真空规管设置,所述加热圈设置在所述导热件外部,所述热电偶与所述真空规管热连通,且所述真空规管与所述真空沉积腔室流体连通。

公开号 204202809U

公开日 2015-03-11

专利代理机构 上海一平知识产权代理有限公司 31266

代理人 蔡继清 崔佳佳

颁证日

优先权

国际申请

国际公布

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