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昆山彰盛奈米-温度测量装置

2018年05月02日 点击:

摘要:本实用新型公开了一种温度测量装置,用于测量聚对二甲苯真空卧式沉积系统蒸发室的温度。该温度测量装置包括壳体、热电偶以及接地结构。该壳体设有中心通孔,热电偶固定容纳于该壳体的中心通孔内并且与蒸发室的外表面接触。壳体的一端设有圆弧面,该圆弧面的弧度与蒸发室外表面的弧度相同,且接地结构的一端与热电偶电连接,另一端接地。采用本实用新型能解决聚对二甲苯真空卧式沉积系统蒸发室的温度测量结果不稳定,易受环境因素影响的问题。
申请人: 昆山彰盛奈米科技有限公司
地址: 215331 江苏省苏州市昆山市陆家镇杨家路9号
发明(设计)人: 徐志淮
主分类号: C23C14/54(2006.01)I
分类号: C23C14/54(2006.01)I C23C14/12(2006.01)I C23C16/52(2006.01)IG01K7/06(2006.01)I

  • 法律状态

2015-04-15 授权

注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

  • 其他信息

主权项 一种温度测量装置,用于测量聚对二甲苯真空卧式沉积系统蒸发室的温度,其特征在于:所述温度测量装置包括壳体、热电偶以及接地结构,所述壳体设有中心通孔,所述热电偶固定容纳于所述壳体的中心通孔内并且与所述蒸发室的外表面接触,所述壳体的一端设有圆弧面,所述圆弧面的弧度与所述蒸发室外表面的弧度相同,且所述接地结构的一端与所述热电偶电连接,另一端接地。

公开号 204265843U

公开日 2015-04-15

专利代理机构 上海一平知识产权代理有限公司 31266

代理人 蔡继清 崔佳佳

颁证日

优先权

国际申请

国际公布

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