一、概述

　　目前低温等离子体（温度为2000～50000K）已得到广泛应用，工业上已成为一种紧张的工艺手段，例如用等离子弧进行切割、焊接、喷涂；制造各种新鲜的光源和表现器；热电直接转换的磁流体发电等。在化工部门，等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业，等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。以上情况注解，低温等离子体已渐渐渗透到许多领域，展示了广阔的前景。

　　二、用微波激发等离子体有如下好处

　　1.有较高的电离和分解程度

　　2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比特别很是高，运载气体保持合适的温度。这个特征，在气相沉积的情况下，可使基底的温度不会过高。

　　3.能在高气压下维持等离子体。

　　4.没有内部电极，在等离子容器内，没有工作气体以外的任何物质，是洁净的，无污染源。等离子发生器可以保持长寿命。

　　5.等离子可以采用磁束缚的方法，束缚在约定的空间内，微波结和磁路可以兼容。

　　6.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离，这是直流等离子体不能达到的。微波走漏小，容易达到辐射安全标准。这是高频感应等离子体难以达到的。

　　7.微波发生器是稳固的，易控的。

　　8.微波等离子体，在很多情况下是一种比较宁静的等离子体，不象直流放电那样伴随很高的噪声级。

　　三、微波激发等离子体的多种情势

　　1.微波传输线协调振腔。

　　2.慢波结构边缘场。

　　3.近场微波天线。

　　4.同轴基外观波激发等离子体柱和波导基外观波激发等离子体柱。

　　5.行使电子回旋共振激发等离子体。

　　微波制茶工艺

　　临界点温度，特别很是适合绿茶及其它特种茶的杀青和干燥作业。茶叶的有用营

　　食品工业

　　制药工业

　　微波可对1－6公分厚的木板进行均匀、快速烘干，干燥只需十几分钟，且不开裂变　形小，同时杀死木材内部的卵虫和幼虫；也可对胶合板或拼板胶接的固化处理以及竹成品干燥、灭霉、杀菌

　　日本用2450MHz、5～10kw对轮胎作一次加热，升温到硫化温度后用热风　保温，可硫化3～4 吨重量的轮胎；美国采用915MHz、50kw作为辐射热器行使程序控制对大型轮胎进行旋转扫描，其好处是加热均匀、硫化时间缩短三分之一。我　公司研制的微波橡胶硫化设备在造型、结构、性能、硫化质量等方面均可和日本、德国等进口设备相媲美。

　　用微波可在较低温度下灭菌杀虫。可处理食品、药品、烟草、木材等，升温速度快不受物料厚度、外形影响。

　　原煤中的硫以黄铁矿情势出现，黄铁矿比煤有更高的因此行使微波可使黄铁矿得到选择性加热与气体发生反应，进行脱硫。而煤不受影响。理想的方法是以持续　时间为0.1秒的脉冲波进行间歇式加热，将黄铁矿石加热到650℃的高温。这种方法去硫结果好，不需昂贵的催化剂，节省资金高，环境污染小。

　　半导体生产工艺中已经采用微波等离子体技术，进行刻蚀、溅射、气相沉积、氧化硅片；还可用于金属、合金、非金属的外观处理；用于等离子体光谱分析可检测十几种元素。

　　微波生物效应分热效应和非热效应。其热效应在医疗方面可进行微波理疗、配合放疗和化疗进行透热治癌；另外还可以行使微波加热血浆、解冻冷藏器官；还可设计微波手术刀，开刀止血快、出血量少。

　　微波测量精度高，适宜于生产中延续测量和已广泛用于测距、测温、测厚测速等方面。　　微波可进行陶瓷的均匀致密化烧结，最高温度可达2000℃，获得大尺寸的邃密陶瓷

      上面的内容就是微波等离子体的原理上风和作用行业的一些详细的介绍。

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