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TRITON 160体系

TRITON 160体系

品牌:JeTplasma

规格:TRITON 160

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详细信息

        

 

Triton 160是面向工业级客户使用需求设计的等离子共形涂层设备,适用于各种功能材料大批量涂层应用,在严苛环境下延续稳固运行并能保持统一化的等离子沉积结果。 

Triton 160通过优化的体系设计与天真的体系配置方案,实现功能材料的快速、大面积均匀沉积。

Triton 160配备有温控、液态源输送体系、自力压力控制单元等扩展组件可供选择,为客户提供完美的等离子批量沉积方案。

 

 

设备特点

13.56MHz射频电源与主动匹配体系,具有优秀的稳固性与可重复性。

优化的气体馈入与分布设计,提供良好的处理均匀性。

可天真设置的电极及电极的实时可控,知足功能材料的大面积可控沉积。

精准安全的液态源供给体系,知足不同功能材料的快速大面积沉积。

PLC与工控机提供稳固的过程控制,设备运行的实时参数通过表现屏直观呈现。

体系设置多级管理权限,集简易的操作体验与严谨的工艺管控与一体。

 

 

应用领域

功能材料沉积 

防水功能材料沉积:用于PCB外观轻质防水耐腐蚀封装;可穿戴设备的外观防水薄膜。

耐腐蚀材料沉积:医疗电子芯片外观腐蚀涂层;医疗器械外观生物相容性薄膜及耐腐蚀薄膜

外观活化

提拔外观能,实现难粘材料的有用结合

加强外观胶体流动性,消弭涂敷过程中的空洞

外观粗化与微刻蚀

纳米级外观粗化,减小外观应力

对多种材料的选择性刻蚀

 

 

 

尺寸

容积 电极数量 电极间距  

 

功率电极尺寸

接地电极尺寸 射频体系 600W/13.56MHz
最大气路配置 真空泵 75m³/h 油泵 / 90m³/h 干泵

 

 

 

厂务要求

380V, 25A, 50Hz, 3-Pahse, 8AWG, 5-Wire  
1/4英寸卡套接口  
CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%;  N2 = 99.99%; Ar = 99.999%;  其余气体请咨询JETPLASMA  
15~20 psig  
1/4英寸卡套接口  
工业级氮气或CDA, 15~20 psig  
1/4英寸卡套接口  
CDA, 60~90 psig  
KF40  
工业纯水或去离子水, 10~35℃  
Rc1/2  

选配件

冷却能力 9kW; 380V, 7A, 50Hz, 3-Pahse  
根据处理量选配  
根据用量选配
 
 

 

 

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