易能纳米-一种真空镀膜裂解器

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2022-08-08 13:27:29

择要：本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜裂解器，包括裂解室、连接管和缠绕于裂解室外侧的感应线圈，还包括连接头，所述连接头中心部分开设有通孔，连接头的一端设有连接环，连接头的另一端设有嵌接槽，连接头上开设有螺栓孔，所述螺栓孔分布于连接环的四周，所述裂解室与嵌接槽连接，所述连接头为两个，分别连接于裂解室两端，使用时，两个所述连接头分别通过连接环与连接管连接，其具有结构简单，密封性好，不易老化，便于维修和替换的特点。
申请人：广东易能纳米科技有限公司
地址： 523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室
发明(设计)人：肖桥兵
主分类号： C23C16/448(2006.01)I
分类号： C23C16/448(2006.01)I

择要：本实用新型涉及纳米镀膜设备技术领域，尤其涉及一种真空镀膜裂解器，包括裂解室、连接管和缠绕于裂解室外侧的感应线圈，还包括连接头，所述连接头中心部分开设有通孔，连接头的一端设有连接环，连接头的另一端设有嵌接槽，连接头上开设有螺栓孔，所述螺栓孔分布于连接环的四周，所述裂解室与嵌接槽连接，所述连接头为两个，分别连接于裂解室两端，使用时，两个所述连接头分别通过连接环与连接管连接，其具有结构简单，密封性好，不易老化，便于维修和替换的特点。

申请人： 广东易能纳米科技有限公司

地址： 523808 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区工业南路6号2栋307、308室

发明(设计)人： 肖桥兵

主分类号： C23C16/448(2006.01)I

分类号： C23C16/448(2006.01)I

法律状况

2015-11-18	授权

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

其他信息

主权项	一种真空镀膜裂解器，包括裂解室（2）、连接管（5）和缠绕于裂解室（2）外侧的加热丝（3），其特性在于：还包括连接头（1），所述连接头（1）中部开设有通孔（14），连接头（1）的一端设有连接环（11），连接头（1）的另一端设有嵌接槽（13），连接头（1）上开设有螺栓孔（12），所述螺栓孔（12）分布于连接环（11）的周围，所述裂解室（2）与嵌接槽（13）连接，所述连接头（1）为两个，两个连接头（1）分别连接于裂解室（2）两端，装置状况中，两个所述连接头（1）分别通过连接环（11）与连接管（5）连接。

公开号	204779798U

公开日	2015-11-18

专利代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215

代理人	何树良

颁证日

优先权

国际申请

国际宣布

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