荣坚五金- 一种基材活动式等离子体放电制备纳米涂层的设备及方法

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2022-08-08 13:45:28

择要：	一种基材活动式等离子体放电制备纳米涂层的设备及方法，属于等离子体技术领域，设备包括：电极、真空排气装配、气体管路、基材固定装配，基材固定装配可以在活动机构的带动下在电极形成的空间内部产生活动，通入单体蒸汽到反应腔室内，进行化学气相沉积，沉积过程包括预处理阶段和镀膜阶段，预处理阶段等离子体放电方式为大功率延续放电，镀膜阶段等离子体放电方式为小功率延续放电。涂层制备过程中，基材的活动特征和等离子体放电能量组合联动。制备过程中等离子体放电的同时，基材产生活动，进步了涂层沉积服从，并改善了涂层厚度的均匀性和致密性。所制备的涂层具有防水防潮，防霉菌，耐酸、碱性溶剂，耐酸、碱性盐雾等特征。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	C23C16/513(2006.01)
分类号：	C23C16/513(2006.01) B82Y40/00(2011.01)
法律状况
2017/8/11	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/513申请日:20170521
2017/7/18	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息


主权项

公开号	106958012A

公开日	2017-07-18

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权

国际申请

国际宣布

进入国家日期