荣坚五金-一种管状大容积等离子体聚合涂层装配

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2022-08-08 13:48:32

择要：	本发明一种管状大容积等离子体聚合涂层装配，属于等离子体技术领域，用于在基材外观制备聚合物涂层。该装配中，真空室为管状，真空室的内壁上安装有电极和导轨，其中电极为柱面形，位于与真空室同轴的柱面上，电极分开为至少两部分，留出的闲暇安装导轨，电极与导轨不接触；治具安装在导轨上，与真空室同轴，待处理的基材装在治具内，真空室的顶部沿轴向间隔设置载体气体管路和单体蒸汽管路，真空室的底部沿轴向间隔设置真空排气管路，真空室的两端安装真空室门，供治具送入和掏出。本发明的装配的真空室的容积大，等离子体的均匀性优秀，处理批量大、服从高、成本低，批处理产品质量均匀性优秀。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	B05B5/08(2006.01)I
分类号：	B05B5/08(2006.01)I B05B15/12(2006.01)I
法律状况	实质审查的生效 IPC(主分类):B05B 5/08申请日:20161130
2016/11/9	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息
主权项	一种管状大容积等离子体聚合涂层装配，其特性在于：真空室(1)为管状，真空室(1)的内壁上安装有电极(2)和导轨(3)，其中电极(2)为柱面形，位于与真空室(1)同轴的柱面上，电极(2)分开为至少两部分，留出的闲暇安装导轨(3)，电极(2)与导轨(3)不接触；治具(4)安装在导轨(3)上，与真空室(1)同轴，待处理的基材(5)装在治具(4)内，真空室(1)的顶部沿轴向间隔设置载体气体管路(6)和单体蒸汽管路(7)，真空室(1)的底部沿轴向间隔设置真空排气管路(8)，真空室(1)的两端安装真空室门(9)。

公开号	106733264A

公开日	2017-05-31

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权	2016.08.30 CN 201610790675X

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