荣坚五金-一种纳米镀膜设备行星回转货架装配

WaterOff

2022-08-08 13:49:54

择要：	本发明一种纳米镀膜设备行星回转货架装配，属于真空镀膜技术领域。该装配中，腔室顶部连接抽气口，腔室中间轴位置安装有中空管，中空管上端连接到抽气口，腔室底部安装有旋转电机，旋转电机上安装有行星回转货架；所述行星回转货架中，旋转轴与旋转电机连接，旋转轴与中空管同轴，旋转轴上固定设置旋转置物架，旋转置物架上对称设置有至少两根行星旋转轴，行星转转轴上设置至少一层置物台，置物台上放置待处理的工件。本发明的有益结果：镀膜过程中行星回转货架公转和自转持续双重旋转，避免出现因各区域化学单体气体密度不均匀造成固定区域的工件涂层厚度不均匀征象。同时，行星回转货架转动也有利于将进入腔室内的化学单体气体充分混合均匀。
申请人：	无锡荣坚五金工具有限公司
地址：	江苏省无锡市惠山区玉祁镇玉祁工业园东环路
发明(设计)人：	宗坚
主分类号：	C23C16/458(2006.01)I
分类号：	C23C16/458(2006.01)I
法律状况	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458申请日:20161130
2016/11/9	公开

注：本法律状况信息仅供参考，即时正确的法律状况信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
其他信息
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458申请日:20161130	一种电火花等离子体引发聚合外观涂层装配，其特性在于：在真空室(1)内间隔安装多个火花塞(2)，构成阵列，火花塞(2)与电源(7)连接，单体蒸汽管路(3)连接在真空室内，单体蒸汽管路(3)在位于火花塞(2)的正前方设置出口，单体蒸汽管路另一端连接到单体蒸汽源，排气管(4)位于真空室(1)阔别火花塞(2)和单体蒸汽管路(3)出口的一侧，排气管(4)另一端与真空泵(5)连接，待处理的基材(6)放在真空室(1)内。

公开号	106622892A

公开日	2017-05-10

专利代理机构	大连理工大学专利中间 21200

代理人	梅洪玉

颁证日

优先权

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