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佛山思博睿科技-基于低压等离子化学气相沉积制备纳米多层膜的装配

WaterOff
2022-08-08 14:00:39
择要:本发明提供了一种基于低压等离子化学气相沉积制备纳米多层膜的装配,包括:用于放置基体工件的真空的反应腔;向所述反应腔内持续供应氧气的氧气输送体系;向所述反应腔内交替地供应第一气体和第二气体的气体输送体系;产生微波并向所述反应腔内提供所述微波的微波发生体系;设置于所述反应腔与所述微波发生体系之间以在所述反应腔内产生等离子场从而电离所述反应腔内的各种气体以使各气体不同分子之间进行化学反应而生成纳米级膜层的微波电子回旋共振体系。本发明的装配可正确控制每层厚度、以及均匀度,增长膜层与基体粘合力。
申请人: 佛山市思博睿科技有限公司
地址: 528226 广东省佛山市南海区狮山镇罗村朗沙广东新光源产业基地核心园区内C区7座第五层(1-6轴)厂房
发明(设计)人: 梁磊
主分类号: C23C16/02(2006.01)I
分类号: C23C16/02(2006.01)I C23C16/50(2006.01)I B82Y40/00(2011.01)I

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